技术编号：2811933
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微电子学与声表面波器件中的微纳加工，特别涉 及一种，即具有纳米尺度叉 指换能器电极的制作方法。背景技术根据声表面波传输性质，对于常见的压电介质，当工作中心频率达到1GHz时，叉指电极将小于1微米。随着移动通信系统的工作频率向2GHz 以上攀升，以及微传感技术的发展，声表面波器件正向高频率、高性能的 方向发展，这就对声表面波器件的制作提出挑战，要求叉指电极宽度和间 距必须越来越小，精度越来越高，甚至达到百纳米左右才能满足移动通信 市场和传感技术快速...
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