有源矩阵驱动的光栅光调制器的制作方法技术资料下载

技术编号:2812022

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本发明涉及一种有源矩阵驱动的光栅光调制器,更具体的说,本发明是通过有源矩阵 控制MEMS光栅光调制器的电压,实现对光的调制。背景技术随着MEMS (微机电系统)技术的不断发展和成熟,基于光MEMS技术的用于投影 显示的光调制器被提出。在这些光调制器中,以数字微镜器件(DMD)、光栅光阀(GLV)为 代表。它们在商业应用中已经取得巨大成功。DMD是有MEMS技术制造的上百万个可偏转的反射微镜构成的调制器。DMD微镜的 紧密间隙令投射的影像产生更细致的无缝画面...
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