正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法技术资料下载

技术编号:2812308

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本发明是有关于一种正型感光性树脂组成物及其图案形成方法,特别是有关于一种使用在半导体集成电路元件、薄膜晶体管(thin-fi lm transistor ;TFT)的液晶显示元件或触控面板的制造中,经时安定性佳且分辨率高的正型感光性树脂组成物及其图案形成方法。背景技术近年来由于半导体及液晶显示器产业蓬勃发展,个人计算机及显示器的需求扩大,技术突飞猛进,导致高分辨率的要求日益提高。为了达到上述要求,一般使用高邻位酚醒清漆树脂(high-ortho novol...
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