技术编号：2812945
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及扫描探针显微镜镜体，特别涉及一种纵横转置全低压低温漂扫描探针显 微镜镜体，具体说是一种把探针与样品间距的调节方向设置成与压电管轴线方向垂直以提高 探针-样品间距的调节范围，使得在全部使用小于18V的低电压情况下也能实现以往必须使用 大于18V的高电压才能实现的粗逼近、细逼近和对大起伏表面成像的功能，并具有很高热稳 定性的扫描探针显微镜镜体。背景技术现有扫描探针显微镜(SPM)的探针-样品粗逼近一般使用压电马达、步进电机或螺丝调 节三种技术，它...
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