技术编号：2813244
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及镀膜，特别是一种用于电子枪蒸发镀膜机镀制雕塑 薄膜的倾斜沉积镀膜装置。背景技术箱式电子枪蒸发镀膜机是常用的光学镀膜设备。该设备主要由三大 部分组成真空系统、热蒸发系统、膜层厚度控制系统。镀膜过程是在 真空室内进行的。图1是该箱式电子枪蒸发镀膜机的真空室的结构图。真空室内包括电子束蒸发源l、挡板2、夹具安装架3、烘烤电阻丝4、 监控片旋转盘5。其中电子束蒸发源l由电子枪和坩埚组成，电子枪发 出的电子流被加速打到坩埚里，对坩埚里的膜料进行加热，从...
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