技术编号：2813725
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光电子器件领域，涉及一种利用(110)硅片制作的静电驱动微反射镜型扭臂结构的微光电子机械系统(MOEMS)光开关、光开关阵列及制作方法。背景技术随着光纤通信技术的发展和密集波分复用(DWDM)系统的应用，全光交换已经成为一种趋势，光开关是实现全光交换的关键器件，它可以实现全光层的路由选择，波长选择，光交叉连接，自愈保护等功能。从目前的技术形式看，主要有波导型光开关和MOEMS光开关，波导型光开关的速度在微秒到亚毫秒量级，且体积小，但其插入损耗、消...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。