静电式微机械全光开关制造方法技术资料下载

技术编号:2813999

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本发明涉及光电子中的一种,特别适用于高速大规模的全光光纤通信网络中作光开关器件的制造。背景技术 现代光纤通信正向全光通信方向发展,高速、宽带、大容量的发展趋势对光开关的需求越来越大、要求越来越高。传统的光一电一光(OEO)光开关表现出以下缺点速度低、体积大、成本高。光纤光通信全光网络主要有两部分组成,即光传输和光交换,目前由于采用波分复用(WDM)技术使得光的传输能力大大提高,因此这就加大了对光交换的压力,目前光交换的核心是光一电一光开关(OEO开关),它...
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