技术编号:28142006
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及沉积炉领域,更具体的说是一种气相沉积炉。背景技术.例如申请号.的一种气相沉积炉其技术方案要点是一种气相沉积炉包括加热炉体和料架;加热炉体具有反应空腔,加热炉体内设有布气管道,布气管道的中部还设有将布气管道的通道隔断的隔板,布气管道的两端均设有为布气管道供气的进气管道;加热炉体的两端设有与反应空腔连通的排气管道、控制排气管道开闭的排气阀,气相沉积炉还设有与排气管道连接的真空泵;料架包括旋转轴和安装于旋转轴的转筒;加热炉体还设有驱动转筒旋转的驱动电机,加...
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