光阻汲取喷头的定位装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2814420

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本实用新型涉及一种光阻汲取喷头的定位装置,尤指一种运用于光阻容器中, 并利用可更换式设计达到降低成本的光阻汲取喷头的定位装置。背景技术请参阅图8所示,习用光阻汲取喷头包含有一具有内螺纹的定位装置90、 一汲 取管91、一回流管92及一加压管93,该定位装置90是以一体成形手段制程的构件, 并藉由该定位^S90内所设置的内螺纹以螺合于光阻容器上,该汲取管91、回流 管92及加压管93皆是设置于该定位装置90上并贯穿该定位装置90。然Jd述中,习用光阻汲取喷头...
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