技术编号：2815421
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及涂胶显影单元工作臂的改进技术，具体为一种用以在半导体 晶片上进行涂胶、显影的各工作臂的可分控作业及可交叉作业结构。 背景技术目前，众所周知的涂胶、显影单元主要由基座、离心机构、涂胶杯、工作臂、 气动滑台、气动马达等构成。涂胶(显影)臂固定在气动滑台上，并利用气动滑 台实现工作臂的上下动作。气动滑台固定在气动马达上，利用气动马达的转动完 成涂胶、显影工艺过程。在涂胶单元中，当涂胶过程结束而涂胶臂没有退回原位时，不允许去边臂进行作业；同样在显影单...
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