技术编号：2815491
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种微变形镜，属于自适应光学及微机电系统(MEMS)领域。 背景技术作为自适应光学系统的核心部件，变形镜在军事和民用领域拥有广泛的应用前景。 使用MEMS技术制造的微变形镜由于其体积小、成本低、响应快及集成度高等特点， 已成为,变形镜研究的重要方向，而制造具有高光学效率的微变形镜己成为研究的重点 和热点。绝缘体上硅(Silicon on Insulator, SOI)材料提供了一种"SrSiCVS;(硅—二氧化硅一硅)"三层结构，其中的S,0...
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