感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法及印刷配线板的制造方法技术资料下载

技术编号:2815664

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本发明涉及。背景技术在印刷配线板的制造领域中,作为刻蚀或镀覆中所使用的抗蚀材料,广泛使用感光性树脂组合物。感光性树脂组合物多以具备支撑膜和在该支撑膜上使用感光性树脂组合物形成的层(以下称作“感光层”)的感光性元件(层叠体)的形式使用。印刷配线板例如如下制造。首先,将感光性元件的感光层层叠(层压)在基板上(层叠工序)。接着,将支撑膜剥离除去后,对感光层的规定部分照射活性光线而形成光固化部(曝光工序)。之后,通过将未曝光部从基板上除去(显影),从而在基板上形成...
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