技术编号：2816078
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于移动体装置、图案形成装置、曝光装置以及元件制造方法， 更详言之，是关于具备实质沿既定平面移动的移动体的移动体装置、将图案 形成于装载于移动体的物体上的图案形成装置、通过照射能量束于物体形成 图案的曝光装置、以及使用该曝光装置的元件制造方法。背景技术以往，在制造半导体元件、液晶显示元件等的电子元件(微型元件)的微影 工艺中，主要使用步进重复方式的投影曝光装置(所谓步进器)、步进扫描方式 的投影曝光装置(所谓扫描步进器(亦称扫描器))等。此种投影曝...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。