技术编号：2816224
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般涉及高频脉冲式光源的光功率调制，尤其涉及在提供经调 制的脉冲式光输出的系统中用于光束一指向校正的方法和装置。背景技术在从外科设备到用于形成电子微电路的光刻系统的应用范围中，广泛 地使用脉冲式激光器。传统上存在供脉冲式激光调制使用的许多类型的设 备。例如，这些设备包括偏转一部分激光或导致衍射的设备，诸如各种类 型的声一光调制器(AOM)以及电一光调制器(EOM)。其它类型的调制 器利用光偏振状态进行工作，诸如液晶(LC)调制器。例如，再其它类型 的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。