一种精确定位的真空压力调节阀门的制作方法技术资料下载

技术编号:28163184

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.本发明涉及真空压力调节阀门的处理技术领域,更具体的是涉及一种精确定位的真空压力调节阀门技术领域。背景技术.真空压力调节阀是一种用于改变真空管道流导的阀门,通过对管道流量大小的控制起到调节真空腔室压力的作用,更进一步地说,真空压力调节阀通过改变阀门开度大小来改变管道的流导,控制了管道的流量大小就控制了真空腔室的压力大小,或者使真空压力保持动态平衡,因而它是一种重要的、使用要求较高的真空元件。.现有技术中的真空压力调节阀门中,通常使用步进电机通过螺纹传动驱动阀芯运动,使阀板停留在阀口的所需位...
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