技术编号：2816445
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。投射物镜 本发明涉及依照权利要求1的前序部分的投射物镜。 从US 4， 796， 984、 US 6， 813， 098B2和JP 10340848A中得知这样的投射物镜。这样的投射物镜可以用于生产平板显示器(FPD)或与将微结构化的半导体部件施加到基底层上(晶片级封装，WLP)相关联。 从现有技术已知的投射物镜需要相对大量的安装空间。 因此，本发明的目的在于进一步开发最初提到的投射物镜的类型，以使其在至少一个尺度上更紧凑地配置。 依照本发明，该目的通过具...
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