技术编号：2816450
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 鹏申i體,X綠 本申请案主张2007年7月25日申请的美国临时专利申请案第60/951， 930号的 优先权，所述申请案的全文以引用的方式并入本文中。背景技术微机电系统(MEMS)包括微机械元件、激活器及电子装置。可使用沉积、蚀刻及或 其它蚀刻掉衬底及/或已沉积材料层的部分或者添加层以形成电装置及机电装置的微加 工工艺来产生微机械元件。 一种类型的MEMS装置称为干涉式调制器。如本文所使用，术语 干涉式调制器或干涉式光调制器指的是一种使用光学干涉式原理...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。