技术编号:28165245
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于超声电机领域;具体涉及一种超声型压电推杆电机及其死区补偿方法。背景技术.近年来,随着超精密加工、光刻技术、精密测量及纳米技术的迅速发展,对精密定位系统的精度、速度和行程的要求也越来越高。其中,驱动装置直接决定了平台的速度、精度、行程和整个系统的效率。.超声电机是利用压电陶瓷的逆压电效应和超声振动的新型微电机,具有响应快、体积小、重量轻、低速转矩大、易于控制等优点,在精密仪器仪表、航空航天、智能机器人以及医学仪器等领域有着广泛的应用前景。超声型压电推杆电机采用螺纹传动,能够直接输...
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