技术编号：2816616
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。周期性波纹阵列相关申请案本申请案主张2007年12月3日申请的第11/949，612号美国专利申请案以及2007年9月14日申请的第60/972，715号美国临时申请案的优先权权益，所述申请案中的每一 者的全文以引用的方式并入本文中。背景技术微机电系统(MEMS)包含微机械元件、激活器和电子元件。可使用沉积、蚀刻和/或 其它蚀刻掉衬底和/或已沉积材料层的部分或者添加层以形成电装置和机电装置的微加 工工艺来产生微机械元件。一种类型的MEMS装置称为干涉式调制...
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