技术编号：2816682
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于偏振光传播理论、偏振器件性能表征、偏振器件设计、偏振光产生和检测的，具体涉及一种用于高数值孔径成像系统偏振光产生和检测的复合波片及复合波片组的优化设计方法。背景技术高分辨成像需要大数值孔径(NA)偏振成像技术与系统，例如高分辨偏光显微镜或高数值孔径浸没式光刻机。但是，高NA偏振成像系统中需要产生偏振光、检测和控制偏振光特性。产生偏振光、检测光的偏振态和控制光学系统引起的偏振效应需要在系统中置入各类波片(全波片、1/4波片、1/2/波片或任意波片)...
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