技术编号：2816800
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及例如半导体器件、液晶显示板等的制造工艺中的洗涤、蚀刻等湿式处理工序中，具有用于向被处理物供给处理液的喷嘴的湿式处理装置。因此，作为比以往型大幅度节省处理液使用量的省液型洗涤用喷嘴，而提案的湿式处理用喷嘴型式有向被处理基片供给处理液而进行被处理基片的湿式处理时利用的湿式处理用喷嘴，在一端形成进入处理液的具有进入口的进入通道和用于向外部排出在一端使用后处理液的具有排出口的排出通道，在这些进入通道和排出通道的另一端分别设有向被处理基片开口的进入开孔部和...
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