技术编号：2816910
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在输入光的光束截面中进行空间强度调制并输出该调制后的光的光 学掩模，以及，包含这种光学掩模的光源装置。背景技术在观察被观察物或加工被加工物的情况下，从激光光源等的光源输出的光，经过 包含透镜等的聚光照射光学系统，而被聚光照射在被观察物或被加工物上。在这样进行光 的聚光的情况下，作为该聚光直径的大小的基准的光束束腰(waist)直径，只能减小到光 的波长的一半左右。这被称为衍射极限。但是，该衍射极限是关于高斯模式(或者基本模 式)的光的极限。另一方...
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