技术编号：2818223
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光学器件，具体涉及一种用于光学衍射成像的大面积的光 子筛。背景技术光子筛成像是近几年发展起来的一种新型成像方法。光子筛是基于传统的 菲涅尔波带片，将波带片中的透明环带用大量的小孔代替而成的一种光学衍射 器件。光子筛具有体积小，重量轻，光谱范围可覆盖到软X射线、极紫外等 特点，而这些正是传统的折射或反射光学器件难以实现的光谱区域。由于光子 筛在航空航天、天文观测、极紫外光刻、物理和生命科学中有着广泛的应用前 景，近年来受到广泛关注。光子筛首先是...
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