技术编号：2818616
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体元件的制造方法，尤其涉及。背景技术现在的液晶显示器主要以薄膜晶体管液晶显示器(TFT LCD)为主流，TFT LCD (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display)的一般结构是具有彼此相对 的薄膜晶体管阵列基板和彩膜基板，在两个基板之间设置衬垫料以保持盒间隙， 并在该盒间隙之间填充液晶。目前量产的TFT阵列基板大多至少需要四轮光罩工序。图1为采用四道光罩 工序制造的现有技术TFT阵列基板的平面...
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