可控偏振方向的垂直腔面发射激光器的制作方法技术资料下载

技术编号:2818724

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本发明涉及到一种垂直腔面发射激光器(VCSEL),特别是一种可实现控 制偏振方向的VCSEL。 背景技术在激光显示光源领域中,目前采取的大多数激光光源都是用大功率边发 射半导体激光器泵浦全固态激光器,再经过频率转换生成蓝、绿光,而用大 功率VCSEL直接进行腔外倍频则具有很多的优点。要高效的实行腔外倍频, VCSEL的基频光具有稳定可控的偏振方向是非常重要的。一般的VCSEL都是生长在(001)衬底上,具有良好的柱形对称结构, 理论上激射任意方向上的线性偏...
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