一种MEMS传感器及电子产品的制作方法技术资料下载

技术编号:28204772

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一种mems传感器及电子产品技术领域.本实用新型属于微机电系统技术领域,尤其涉及一种mems传感器及电子产品。背景技术.防水型气压传感器是一种用来测量环境气压的器件,通过气压值来计算海拔高度,因此广泛应用在消费电子终端中。.目前多数防水型气压传感器采用在产品内部灌注硅凝胶来实现对芯片和金属引线进行保护,虽然能实现防水功能,但硅凝胶很容易沾染异物,且灌胶工艺复杂、需要长时间高温固化、成本较高,且硅凝胶内易形成气泡,影响了产品测试的精度和稳定性。实用新型内容.旨在克服上述现有技术中存在的问题...
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