具有内部冷却腔的声穿透装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2823086

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本发明涉及具有多个基本超声波传感器的声穿透装置的基本领域,每个基本超声 波传感器具有至少一个电声部件,所述多个传感器分布在底盘上,使得电声部件分布在声 穿透装置的所谓“前”表面上,所述声穿透装置的前表面旨在放置成面向要声穿透的介质。背景技术电声部件通常由压电材料、压电复合材料或者半导体材料制成,例如微加工电容 式超声波传感器(CMUT),该电声部件允许通过受限的电声效率来产生高功率超声波。通常而言,对于包括在IOOkHz与IOMHz之间的频率,这些材料的电...
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