技术编号：28424220
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种基于柔性铰链结构的xy全解耦微运动平台技术领域.本发明涉及微纳加工制造领域，特别涉及一种xy向微位移移动平台，具体涉及一种基于柔性铰链结构的xy全解耦微运动平台。背景技术.压电陶瓷驱动因其分辨率高、效应速度快等优势，被广泛应用于微纳驱动领域。基于压电陶瓷驱动柔性铰链机构以高精度、高频率而著称。从快刀伺服加工系统微纳制造领域的应用、到显微操作定位、精密对准、精密装配，柔性铰链机构已经成为了微纳操作中的重要元件，而优异的运行精度和高速的响应频率是衡量柔性铰链结构的重要指标。.近些年来，国内...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。