技术编号：2849246
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。准分子灯技术区域本发明涉及一种准分子灯，具有由石英玻璃构成的放电容器，在 介设有形成该放电容器的石英玻璃的状态下设置一对电极，在上述放 电容器的内部发生准分子放电。背景技术近年来，开发了通过将波长为200nm以下的真空紫外光照射在由 金属、玻璃及其它材料构成的被处理体上，通过该真空紫外光及由此 生成的臭氧的作用来处理被处理体的技术，例如除去附着于被处理体 表面的有机污染物质的洗净处理技术或在被处理体的表面上形成氧化 膜的氧化膜形成处理技术，并正在进行实用化...
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