气体放电装置制造方法技术资料下载

技术编号:2849630

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本发明公开了一种气体放电装置。该气体放电装置包括相对设置的前基板部和后基板部,前基板部与后基板部相对封接形成多个放电单元,前基板部包括前基板;放电电极,沿前基板的前表面延伸;第一绝缘层,覆盖在前基板的前表面及放电电极上;以及介质保护膜,设置在前基板的后表面。后基板部包括本发明的气体放电装置中,前基板部由前基板、沿前基板的前表面延伸的放电电极,覆盖在前基板的前表面及放电电极上的第一绝缘层;以及设置在前基板的后表面的介质保护膜构成,前基板既作为支撑结构,又直接...
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  • 高老师:1.电力电子及应用 2.嵌入式系统应用