技术编号：2850725
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开一种等离子体设备和工件位置检测方法，该等离子体设备包括反应腔体，以及位于反应腔体之内的静电卡盘、顶针、和静电电源，等离子体设备还包括传感器、结果判断单元、以及结果处理单元，其中，所述传感器包括用于发送感测信号的发送模块、以及与所述发送模块对应的接收模块；所述结果判断单元，用于根据传感器的感测信号判断所述工件是否被所述顶针正常顶起；所述结果处理单元，根据所述结果判断单元的判断结果执行处理流程。通过本发明的等离子体设备和工件位置检测方法，能够在加工工...
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