技术编号：2850896
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种离子注入系统中束流均匀性调节装置，包括束线通路(1)、线圈上、下侧盖板(2)、多极线圈小磁极(3)、多极线圈(4)、上、下底板(5)、冷却水管道(6)、接线端子(7)，其中包含上下对称布置12组多极线圈小磁极(3)和多极线圈(4)，其中，每一组多极线圈小磁极(3)和多极线圈(4)对称布置在束线通路(1)两侧，串联连接，由同一个电源供电；共有12个电源单独供电，通过调节线圈内的电流，在束线通路(1)内产生不同的磁场分布，达到调节束线路径的目的...
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