技术编号：2851121
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提出一种高功率汞灯灯室装置，其特征在于，包括灯室，上冷却水套，椭球反射镜冷却水套，抽排风管，冷却水自动流量调节阀，抽排风自动流量调节阀以及智能流量控制系统；所述上冷却水套与椭球反射镜冷却水套连接，将汞灯局部封闭在其中；所述抽排风管形成特定风道；所述智能流量控制系统自动控制冷却水自动流量调节阀及抽排风自动流量调节阀。专利说明一种高功率汞灯灯室装置[0001]本发明涉及光刻曝光，尤其涉及一种光刻曝光光源用高功率汞灯灯室装置。背景技术[0002]在半导体制...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。