技术编号：28513531
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及靶材加工技术领域，具体为一种温度可控的靶材加工加热装置。背景技术.靶材主要由靶坯、背板等部分组成:其中，靶坯是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。.目前市场上现有的靶材加热装置主要针对功能性等方面进行改进，其具有温度可控等多功能性的优点，但该靶材加热装置在实际使用过程中不方便对靶材夹持旋转均匀受热，故而提出一种温度可控的靶材加工加热装置来解决上述所提出的问题。实用新型内容.本实用新型针对现有技术中存在的技术问题...
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