技术编号：2851446
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及场致发射器件。具体而言，本发明涉及采用隧道效应的平面场发射发射器，以及它们在电子器件中的应用。发明简述一种发射器具有电子供给层以及在电子供给层上形成的一个隧道层。也可以选择在这个电子供给层上形成一个绝缘层，其中有孔，在孔中形成隧道层。在这个隧道层上形成阴极层。导电层部分地沉积在阴极层上，部分地沉积在绝缘层上，如果存在绝缘层的话。导电层上有孔，用来提供一个表面用于进行电子和/或光子发射。最好但是可选地，这个发射器要经历退火处理，从而增加电子供给层向...
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