技术编号：2851468
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种准分子灯，用于对被处理体实施通过照射紫外线 来进行的清洁处理、灰化处理、成膜处理等表面处理。背景技术近年来如下技术得到开发和实用在液晶显示装置的玻璃基板、半导体晶片等被处理体上照射波长200nm以下的紫外线即真空紫外 光，通过真空紫外光及由此生成的臭氧的作用处理被处理体，该技术 例如包括除去附着于被处理体表面的有机污染物质的清洁处理技术或 在被处理体表面上形成氧化膜的氧化膜形成处理技术。作为照射真空紫外光的装置，例如使用具备如下准分子灯的装置...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。