短弧型水银灯的制作方法技术资料下载

技术编号:2851469

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本发明涉及一种短弧型水银灯,涉及一种良好地放射波长为300 350nm的紫外线的短弧型水银灯。背景技术短弧型水银灯在半导体、液晶、滤色器等各种的曝光工程作为光 源被使用,而近年来,被要求曝光面积的大型化或高产能化。此外,以往主要使用g线(436nm) 、 h线(404nm) 、 i线(365nm) 的紫外线,但近年来,为了提高效率,被要求更短波长的紫外线,而 有利用300 350nm的紫外线的趋势。短弧型水银灯,通过使用氢氧燃烧器加热加工圆筒状石英玻璃,...
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  • 高老师:1.电力电子及应用 2.嵌入式系统应用