技术编号：2851624
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种用于离子注入机的宽束离子源装置，包括源磁场铁芯、源磁场线圈、弧室和引出电极，弧室的一端设有第一灯丝和第一阴极，弧室的另一端设有第二灯丝和第二阴极，第一灯丝和第二灯丝分别连接灯丝电源，第一灯丝和第一阴极之间连接第一偏置电源，第二灯丝和第二阴极之间连接第二偏置电源，第一阴极与弧室之间连接第一弧压电源，第二阴极与弧室之间连接第二弧压电源。由于弧室采用了双灯丝、双阴极的双间热式阴极结构，使气体介质与阴极发射出的热电子充分发生碰撞，能够产生较宽的离子...
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