技术编号：2851694
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的信号过滤结构，所述感应耦合等离子体刻蚀机包括气体流量器和与该气体流量器通过信号线连接的氦气阀开闭控制装置，所述气体流量器和氦气阀开闭控制装置之间的信号线上设有一信号过滤器，且该信号过滤器一端接地。本发明在气体流量器和氦气阀开闭控制装置之间的信号线上增设一信号过滤器，且该信号过滤器一端接地，由此能够把信号干扰通过接地线排除，使气体流量器发出的信号通过信号过滤器完整地发送到氦气阀开闭控制装置，确保信号稳定的传送。专利...
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