技术编号：2852088
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于为PVD溅射阴极提供功率脉冲的方法，所述溅射阴极被细分为部分阴极，其中在所述部分阴极处有效的功率脉冲间隔被选择为使得其重叠，由此实现从提供功率的发生器的功率提取不必中断。专利说明[0001]本发明涉及一种用于生成功率脉冲的方法。背景技术[0002]例如在HIPMS技术的范围中需要这样的功率脉冲。HIPMS代表高功率脉冲磁控管派射(High Power Impulse Magnetron Sputtering)。在此这是一种真空镀层方法,其...
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