相位板以及电子显微镜的制作方法技术资料下载

技术编号:2852094

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本发明提供一种减少电子射线的阻断所导致的像信息的丢失的问题,并且改善了电位分布成为各向异性的问题的、用于电子显微镜的相位板。其具有连为一体的开口部(23),在开口部配置从开口部的外廓部朝向开口部中心的多个电极(11)。各个电极(11)的剖面,采用隔着绝缘层(25)用由导体或者半导体构成的屏蔽层(26)覆盖由导体或者半导体构成的电压施加层(24)的构造。由此,构成能够减少电极(11)所导致的电子射线阻断,并且能够改善电位分布成为各向异性的问题的相位板。专利说...
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  • 高老师:1.电力电子及应用 2.嵌入式系统应用