技术编号：28521825
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型属于晶圆检测技术领域，具体涉及一种适用于晶圆外观检测的校准机构及设备。背景技术.随着电子产品的快速发展，电子市场对于晶圆的需求量日益增大，对晶圆的产品质量、产品规格、制备工艺等提出了更高的要求。.在晶圆的生产过程中，晶圆的检测过程是必不可少的，其往往关系着晶圆后续使用的可靠性和准确性，而在进行晶圆的检测过程时，往往需要对晶圆产品的方向进行辨识，以确保各待测晶圆进入aoi(光学自动检测)的检测视野后，产品均朝向同一个方向，这样有利于减少产品载台的旋转调整，避免旋转纠正机构的设计，...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。