技术编号：2852386
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种用于TEM样品制备和分析的方法，该方法可以用于FIB-SEM系统中，而不需要对薄层或机动化的翻转台进行重焊、卸载、用户处理。该方法允许具有典型倾斜台的双束FIB-SEM系统用于提取样品以形成衬底、将样品安装至能够倾斜的TEM样品支座上、用FIB铣削将该样品打薄、以及旋转样品从而使得样品面垂直于用于STEM成像的电子柱。专利说明用于横截面视图薄层的背侧打薄的高吞吐量TEM制备工艺和硬件[0001]本发明涉及用于在带电粒子束系统中观察的样品的制备。背景技术...
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