技术编号：2854220
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种电感耦合线圈及等离子体加工设备。本发明提供的电感耦合线圈包括径向截面不同的中心部和边缘部。在本发明提供的电感耦合线圈中，中心部或边缘部的径向截面使其通过感性耦合可以在反应腔室的中心区域或边缘区域中产生强度较强的涡旋电场，而通过容性耦合产生的静电场的强度较弱，从而可以减弱反应腔室中心区域或边缘区域的电流驻波效应，进而可以提高等离子体的密度及分布均匀性；边缘部或中心部的径向截面使其通过容性耦合可以在反应腔室的边缘区域或中心区域产生较强的静电场，从...
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