技术编号：2855669
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种溅射离子枪，具有气流方向调节装置、氩离子产生装置和聚焦透镜；氩离子产生装置的内部具有加载电压可调的电子加速栅网和与该电子加速栅网参考点位相关联的灯丝；电子加速栅网为一侧壁为金属网的圆管；电子加速栅网的前端为栅网阳极，后端为栅网阴极；通过调节加载在电子加速栅网上的电压控制氩离子沿该栅网轴向的运动速度，调节离子产生效率。本发明可以在进行表面刻蚀或深度分析时单独使用，提升离子枪表面处理效果的同时使得表面处理过程可调控。在进行样品表面的清洁处理或表...
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