技术编号：2856512
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。用于显著地减少和/或防止等离子不受限制故障发生的方法和装置，包括利用介电防护结构防护在室部件之间并沿RF电流路径存在的间隙、利用介电防护结构遮蔽尖锐部件结构、以及将相邻等离子限制环对之间的间隙保持为小于该等离子的所述最坏情况德拜长度中的一种或多种。专利说明用于在等离子处理室内防止等离子不受限制故障发生的方法和装置本申请是申请号为200780021251.6、申请日为2007年6月8日、发明名称为“用于在等离子处理室内防止等离子不受限制故障发生的方法和装置”...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。