技术编号：2856677
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种离子注入器（1），该离子注入器具有减速透镜组件（9），该减速透镜组件包括多个电极（60、61、65），其中减速电极中的一个或多个孔隙（62、63、67）以可以提高离子注入器性能的方式成形。在一个实施例中，电极孔隙（67）总体上为椭圆形，并且总体上符合穿过该孔隙的离子束（146）的形状。在另一个方面中，轴线段（H）从孔隙中心（C）延伸孔隙长度的40%到在该线段的末端处的中间点（l1）。在从中心到中间点的每个点处测量出的孔隙的平均宽度比该孔隙的...
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