技术编号：2857212
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种，对不锈钢衬底表面进行抛光处理，在不锈钢衬底表面上形成具有一定粗糙度的粗糙表面；不锈钢衬底放入磁控溅射室，对磁控溅射室抽真空至预定真空度，在粗糙表面磁控溅射预定厚度的钛过渡层，将溅射有钛过渡层的不锈钢衬底放入化学气相沉积室，向化学气相沉积室通入乙炔，乙炔在衬底上化学气相沉积以形成碳纳米管；在真空环境下对形成的碳纳米管进行退火处理。退火处理时，钛与碳纳米管和衬底反应，将碳纳米管和衬底有机的结合，增强了二者的结合强度，减小了界面接触电阻，增强了电...
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