技术编号：2857268
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种等离子体处理容器和等离子体处理装置。在以电感耦合等离子体处理装置为首的等离子体处理装置中，抑制因热导致的盖部件的变形。在电感耦合等离子体处理装置（1）的主体容器（2A）和上部容器（2B）的连接部分，遍及全周配置有O形圈（51）、隔热部件（52）和缠绕屏蔽部件（53）。隔热部件（52）嵌入于隔热部件用槽（62）内。隔热部件（52）包括长条形的多个隔热板（54）。利用隔热部件（52）在主体容器（2A）和上部容器（2B）之间设置间隙（CL）。利用隔...
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