技术编号：2857342
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开。该干法刻蚀机包括反应室以及设置于反应室中的上电极板和下电极板，上电极板上开设有多个用于向反应室中通入气体的通气孔，多个通气孔与多个刻蚀区域一一对应设置；还包括与反应室连接的流量控制器，用于交替地控制多个通气孔中的气流量；设置在反应室中的多个刻蚀速率检测装置，用于检测基板上各个刻蚀区域的刻蚀速率；分别与流量控制器和多个刻蚀速率检测装置电连接的中央控制器，用于获取多个刻蚀区域的刻蚀速率，并在至少两个刻蚀区域的刻蚀速率不等时，在至少两个刻蚀区域的刻蚀...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。